Пьезорезистивные датчики давления отличаются своей чувствительностью, что позволяет измерять даже малейшие изменения давления. Однако используемые материалы имеют довольно высокую температурную зависимость, которая затем должна быть компенсирована.
Поведение пьезорезистивного преобразователя давления изменяется в соответствии с температурой. В то время как связанное с температурой смещение нуля самоочевидно и может быть легко распознано и проверено инженером, температурные изменения как чувствительности, так и линейности менее очевидны и поэтому часто игнорируются.
Причиной смещения нуля является совокупность самых разных факторов:
- различные значения сопротивления на кремниевом чипе
- различные температурные коэффициенты отдельных резисторов в измерительном мосту
- неоднородная кремниевая мембрана, покрытая слоем оксида кремния (изменяющиеся коэффициенты расширения)
- механические напряжения при монтаже измерительных ячеек на носителе (чип, стекло, прохождение стекла)
- расширение масла, связанное с жесткостью стальных мембран (именно поэтому объем масла сводится к минимуму)
В зависимости от конструкции датчика и самого диапазона давления эти отдельные факторы имеют большое значение. Важным в практическом плане является не то, что на самом деле происходит смещение термического нуля, а то, насколько хорошо его можно компенсировать. Желательно здесь, как можно более линейно реагировать на максимально возможный температурный диапазон.
Лучшие результаты с полиномиальной компенсацией
С температурой также смещается линейность. Эта математическая модель точно описывает полное давление и тепловые характеристики преобразователя. Однако чтобы иметь возможность применять эту математическую модель, необходимы компьютерные или цифровые методы компенсации.
В продуктах Keller это достигается посредством полиномиальной компенсации. Пьезорезистивные датчики давления серии 33X достигают, как пример, точности 0,05% ВПИ в диапазоне температур -10 ... + 80°C. 33X – преобразователь давления, получивший широкую известность и распространение благодаря своей стабильности и малому температурному гистерезису. Зачастую в процессе производства или испытаний заказчик должен быть уверен в том, что производимая им продукция или услуги соответствуют самым высоким требованиям. Поэтому высокоточный датчик давления необходимо выбирать тщательным образом.
Эта серия преобразователей давления была разработана для промышленных применений, где предъявляются особые требования к точности и стабильности измерений. Диапазоны измерений от 0,1 до 2000 бар подходят как для жидкостей, так и для газов. В данных преобразователях используются сенсоры KELLER 10-й серии, которые доказали свою состоятельность и превосходство в миллионах различных применений по всему миру. Каждый сенсор проходит калибровку и тестирование во всем диапазоне измеряемых давлений и рабочих температур.
Большинство датчиков давления от Keller оптимизированы как стандартные для рабочих температур от -10°C до 80°C – отличный диапазон для достижения точных результатов в большинстве применений. В некоторых случаях, однако, преимущество заключается в том, что датчики поставляются предварительно оптимизированными для температурных условий (например от -40°C до 120°C), возникающих в результате любого конкретного применения. Таким образом, Keller специализируется на предоставлении датчиков давления, специфичных для определенных условий и делает это в кратчайшие сроки.