Работаем по всей России и Таможенному союзу
Отправить заявку

8 (800) 777 18 50

  • +7 (812) 309 56 05

    Санкт-Петербург

  • +7 (812) 696 00 06

  • +7 (495) 721 88 93

    Москва

  • +375 (29) 626 93 57

    Минск

Перезвоните мне

Метрология Давления. Технология Мембраны и Сенсора

Абсолютное, Относительное (Избыточное) и Дифференциальное Давления

С приходом века паровых технологий появилась потребность в приборах для измерения давления. Трубки Бурдона или сильфоны, в которых механическая деформация передавалась на стрелку-указатель, были первыми приборами для измерения давления. Ими пользуются и по сей день.

Метрология давления это технология преобразования давления в электрический сигнал.

Для этого, как правило, используется конструкция мембраны. В пьезорезистивной и тонкопленочной технологии резисторы закреплены на мембране, на которую оказывается давление. Под воздействием давления резисторы меняют свои характеристики (тензодатчики). В емкостной технологии мембрана представляет собой пластину-конденсатор, которая меняет свои характеристики под воздействием давления.

Используя мембранные технологии, мы измеряем разность давлений, оказываемых на две  стороны мембраны. Опираясь на давление сравнения, мы используем следующие термины:

Абсолютное Давление. Давление в закрытом, часто откачанном, объеме
Относительное Давление. Давление свыше атмосферного давления (обратный принцип для вакуумметрического давления)
Дифференциальное Давление.
Для измерения разности (перепада) двух давлений. Давления подаются с двух сторон на мембрану

 

Пьезорезистивный Сенсор Давления. Кремниевая ячейка.

Сенсор состоит из кремниевой ячейки, обработанной специальным оборудованием, с размещенными на ней тензорезисторами. И вся эта конструкция находится на кремниевой или стеклянной подложке.

Сопротивление резисторов равно приблизительно 3,5кОм. Влияние давления увеличивает сопротивление радиальных резисторов«r» и снижает сопротивление резисторов «t», поперечных радиусу. Это изменение в сопротивлении резисторов может достигать как минимум 30%.

Резисторы подключены как мост Уитстона.

Выходной сигнал моста прямопропорционален давлению.

 

Главные методы съема сигнала с моста

Какими двумя методами съема сигнала пользуются:

— Золотые или алюминиевые провода припаяны к алюминиевым контактам на микросхеме и к стеклянной подложке, штырькам на основании.

— TAB Конструкция не подразумевает жесткое крепление сенсора на подложку. Сенсор просто плавает в масле и крепится при помощи гибкого шлейфа, через который и происходит вывод контактов к штырькам на основании. Таким образом,мы избегаем проблем связанных с температурным расширением клеевого соединения. Также данная конструкция защищает от резкого скачка, от повреждения датчика при резком обратном давлении(при резком падении давления).

В первом случае сенсор должен быть зафиксирован на подложке.

Low Cost Датчики 

LowCost датчики это устройства, в которых сенсоры подвергаются воздействию среды без какой-либо защиты.

Серии 2, 4 и 5 это как раз такие датчики.

В сериях 2 и 4, где стеклянная подложка с кремниевой ячейкой помещены в пластиковый корпус, с подсоединением для положительного давления(серия 2); положительного и отрицательного давления (для серии 4).

В сериях 2ТАВ и 4ТАВ кремниевый сенсор с ТАВ платой расположен между двух пластиковых спаек с подсоединениями для давления.

В сериях 5 кремниевый сенсор спаян с латунным портом давления. Контакты выполнены либо из золотых проводов, припаянных к штырькам, либо посредством ТАВ гибкого шлейфа.

 

Серия 2: Давление действует на наружную часть микросхемы: исключительно для сухих сред.

Серия 4, Серия 5: Давление действует на внутреннюю часть микросхемы: подходит также и для жидкостей.

Новинки нашего каталога

tSENSE

Преобразователь CO2, температуры и влажности с цветным сенсорным дисплеем

CS Soft Basic

ПО для обработки и анализа данных с одного регистратора серии DS

CS Soft Basic

ПО для обработки и анализа данных с одного регистратора серии DS

CS Soft Network

ПО для обработки и анализа данных с нескольких регистраторов серии DS

CS Soft Network

ПО для обработки и анализа данных с нескольких регистраторов серии DS

EV-120

Цифровой индикатор давления для Keller серии 30

PC 400

Система мониторинга аэрозольных частиц

HVAC 100

Экономичный и надежный расходомер для вентиляции

HVAC 100

Экономичный и надежный датчик скорости для вентиляции

OIL Check

Датчик остаточного содержания масла

Отправить заявку

Заказ обратного звонка